图尔讷维尔（，南至厄尔-卢瓦省，
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张帆：场景构建是基石，文化数字化能为传统注入新活力
人口 图尔讷维尔于时的人口数量为人。城区）包括：。 参见 厄尔省市镇列表 参考文献 T瓦兹河谷省和伊夫林省。UTC+02:00（夏令时）。 与图尔讷维尔接壤的市镇（或旧市镇、 图尔讷维尔的时区为UTC+01:00、东临瓦兹省、西接奧恩省和卡爾瓦多斯省，该省份为法国北部内陆省份，位于法国诺曼底大区厄尔省，属于埃夫勒区。 地理 图尔讷维尔（）面积，北起滨海塞纳省， 政治 图尔讷维尔所属的省级选区为。）是法国厄尔省的一个市镇， 行政 图尔讷维尔的邮政编码为，INSEE市镇编码为。
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《生化危机2：重制版》试玩Demo已于今天上架了Steam商城以及Xbox平台，外媒DSO Gaming在搭载RTX 2080Ti的机器上对试玩Demo进行了测试，一起来看看他们的截图与测试结果。
根据DSO Gaming报道，《生化2：重制版》Demo支持DX11与DX12，不过DX12表现地比DX11要慢得多，于是他们建议玩家至少目前不要用DirectX 12，至少等到卡普空做出改进再说。
DSO Gaming表示，在整个试玩过程中，《生化危机2：重制版》都能以4K最高预设保持60fps运行，不过需要再次说明的是这家外媒测试时采用的是搭载了NVIDIA GeForce RTX2080Ti的PC。测试者表示这款游戏看起来相当美观，但是抗锯齿方案并不是那么的号。
最后让我们一起来欣赏一下DSO Gaming所截取的4K高清截图。
《生化危机2：重制版》试玩4K截图 RTX2080Ti显卡可60fps畅玩
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MBC忠北 忠州廣播局
糞酒
曼联已意识到，左边锋是球队亟需投入补强的一环，并将为此采取相应的行动。鉴于目前市场上缺乏合适的选择，曼联今夏究竟会将哪位左边锋列为引援目标无疑是个看点。威尔考克斯深知引进那些已在英超证明过自身的球员所带来的裨益，而在英超中，纽卡边锋戈登或许已是这批略显平庸的候选人中最为理想的选择。
放眼整个欧洲转会市场，左边锋的人选状况也同样不容乐观，这意味着曼联或许不得不寄希望于其经过全面重组的数据分析部门，去发掘出一位虽尚未完全定型、却有着巨大潜力的“璞玉”型球员。去年夏天，曼联宣布任命迈克尔·桑索尼为数据总监。
自桑索尼上任以来，曼联的数据部门规模已有所壮大，他的团队通过对引援目标进行数据分析，从而提供一份详尽的报告，列出这些球员的各项优劣势。迪奥曼德已进入俱乐部的考察视野，这位19岁球员本赛季已攻入10球，而其“预期进球数”仅为5.50，这一数据既可以解读为他进球效率极高，也可能预示他难以长期维持如此高产的表现。
在全欧洲范围内，迪奥曼德仅仅是众多等待接受评估的球员之一，而就球员类型而言，这位边锋的特点恰好符合曼联正在物色、旨在补强左边路位置的理想人选。曼联计划在球队中场位置投入巨资，甚至可能签下两名全新的中场，尽管俱乐部仍会预留资金用于签下左边锋，但鉴于其他位置存在更为紧迫的补强需求，曼联预计不会在左边锋投入巨额转会费。
这也正是数据部门扮演关键角色的另一大原因，桑索尼的团队有望以合理的价格为俱乐部发掘出一位极具潜力的球员。在这个转会窗口选择有限的夏窗，数据部门若能成功物色到一位理想的左边锋人选，便将充分证明其价值所在。标签：" alt="迪奥曼德进入曼联关注范围 但不会投入巨额费用" class="photo-item-img hover-scale">
迪奥曼德进入曼联关注范围 但不会投入巨额费用
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1991年，姚家伟正式跟随父亲学习傩戏，那时这门古老艺术正濒临失传。“我父亲姚克水时常在家小声哼唱，生怕被人听见。”姚家伟回忆道。正是这微弱的声音，点燃了他对傩戏的热爱，也将传承池州傩戏作为自己毕生的使命。
匠心传承，从父亲手中接过傩戏火种
池州傩戏被誉为“戏曲活化石”，保留了宋杂剧、南戏等古老戏曲形态，最初用于民间驱邪纳福、祈求丰收。20世纪60年代，这门古老艺术面临失传危机。
姚家伟出生在傩戏世家，祖辈都是傩戏传承人。在父亲的小声哼唱中，儿时的姚家伟对傩舞傩戏产生了浓厚兴趣。1991年，他正式跟随父亲和其他老艺人学习傩戏。
傩戏表演要求极高，需要通过肢体语言传达情绪，对眼神、身段都有严格标准。学习之初，姚家伟难以领悟技巧，在父亲手把手指导下，他不停地腾挪闪转，磨炼傩舞技艺。傩戏的难点不仅在于动作，更在于唱腔。傩戏唱腔没有曲谱，只有唱本，靠口口相授流传。姚家伟常常捧着剧本背台词到深夜，熟练掌握繁杂冗长的台词。
表演时需要佩戴重逾2斤的木雕面具，固定在脸上，经年累月，姚家伟的脸部都被夹磨破皮。“留存下来的面具都非常珍贵，能佩戴表演已经很难得，每场表演都要尽善尽美。”
为掌握更全面的技艺，姚家伟还练习了傩戏中最难的踩高跷。在反复练习与表演中，他逐渐成长为优秀的傩戏表演者。
抢救整理，让濒临失传的剧目重获新生
为更好地传承傩文化，姚家伟与老一辈共同整理傩戏资料，到各地搜集傩戏唱腔剧本。“那时候听闻哪家有传下来的傩戏剧本，我们就连日去拜访学习。”在他的不懈努力下，《孟姜女》《章文显》《陈州放粮》等许多傩戏被重新挖掘出来。傩戏表演逐渐活跃，从乡土民间走上更高规格的舞台。
2008年2月，姚家伟被文化部命名为国家级非物质文化遗产项目傩戏（池州傩戏）代表性传承人。这是对他多年来努力的最好认可。
培育新苗，让年轻一代接过传承火炬
技艺成熟后，姚家伟思考如何让更多人了解、参与傩戏。从组织人员到傩戏教学，他事无巨细，忙碌不停。
每年正月，他全程参与傩事活动，从前期筹备到演出安排，从台下教学到台上表演，都亲力亲为。多年来，仅正月期间他就表演傩戏300余场。
“姚街村正月傩仪已延续600余年了，每年正月的傩事活动是整个家族最重要的大事。”姚家伟说，“特别是本村的学生们，寒假归来积极投身傩戏练习，我被深深打动。就冲他们这股认真劲，我也要毫无保留地传授所学。”
教学时，姚家伟总是最早到场，将面具、服饰、道具摆放整齐。他先示范整套动作，每一个转身、踏步都力求精准，汗水浸透戏服也毫不懈怠。教“踩罡步”时，见学生记不住复杂舞步，他就用粉笔在地上画出行走路线，自己踩着斑驳的线痕反复走给孩子们看，青石板上渐渐磨出发亮的轨迹。
有学生面具戴歪了，他立刻上前调整系带：“傩面是傩戏的精髓，戴端正了才有威仪。”深夜排练结束后，他总是留下加练的学生，点着灯细说戏文典故。
创新融合，让古老艺术焕发时代生机
为使傩戏更易被大众接受，姚家伟根据传统傩戏剧本《五星会》，新编排了《五星观赏》，充分融合现代元素。他还在《打赤鸟》傩舞表演中创造性改进舞伞动作和唱腔方式，赋予新的时代内涵。
2015年，他应邀参加“中国南昌傩文化艺术周”表演活动，获得“伞舞”金奖和“关公登殿”优秀节目奖。2018年，他远赴法国巴黎参加“原生态意象节”，其表演得到国际友人和文艺界专家的高度肯定。
姚家伟经常组织“送戏进校园”活动，不仅带领团队去往安徽师范大学等高校演出，还深入各乡村学校，让学生们近距离接触傩戏，培养他们对傩戏的兴趣与热情。“牢记使命，一代代延续。这是传承一种精神，一种信仰。”姚家伟说。
他深知队伍年轻化是保护和传承傩戏的关键。这些年来，他以国家级传承人身份在池州市傩戏传习馆教授傩戏，积极参加各类活动宣传傩文化，希望带动更多年轻人走近、了解、传承傩戏。2015年7月，池州市启动非遗“名师带徒”工程，姚家伟作为傩艺培训班老师，参与了6批工程，带出方超、姚新祥等多名徒弟。
夜幕降临，姚街村的傩戏排练场地依然亮着灯。姚家伟抚摸着傩面具上的纹路，仿佛触摸到父亲当年的目光。那些专注与坚守里，流淌着对傩文化的深爱。青石板上发亮的轨迹，不仅是脚步磨出的印记，更是一条连接过去与未来的文化之路。“只要还有人愿意学，我就会一直教下去。”姚家伟说这话时，眼神坚定如初。 （马泽冰）
" alt="姚家伟：三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生" class="photo-item-img hover-scale">姚家伟：三十载匠心守护 让千年傩戏焕发新生
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AI漫剧爆火下的“一人公司”
李丹妮 (演员)
武昌首义 (电视剧)
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洞头网讯(记者 庄缘 王从华)6月20日上午，市人大常委会副主任陈永光带队来我区开展文明城市建设督查，并为北岙街道、元觉街道颁发“最优镇街”流动红旗。区人大常委会主任刘素婷陪同。
据介绍，在2023年温州市文明城市创建第二轮实地测评情况中，北岙街道在市建成区内排名第二，元觉街道在市建成区外排名第二。本轮测评采取“明察+暗访”的形式，抽选市区内42个街镇中的部分街镇同步开展，并对测评成绩排名靠前的镇街予以通报表扬。
颁旗仪式上，陈永光表示，获得流动红旗的单位要珍惜荣誉、再接再厉，继续凝结强大的力量，以背水一战的决心、务实过硬的作风、决战决胜的状态，坚决打赢文明城市建设这场硬仗。
随后，陈永光一行来到我区腾飞路、广场路及新城农贸市场检查，发现整体环境卫生状况较好，市场秩序井然，同时对水产区地面排水设施管理提出了指导性建议。
座谈会上，陈永光指出，文明城市建设既是开卷考，也是竞赛考，又是淘汰考，要持续推进常态化整改，下足绣花功夫；要突出亚运会主题，组织开展相关活动，创新谋划特色亮点，营造文明城市建设浓厚氛围；要同心同向同目标，共同打好这场“迎亚运、享盛会、游温州”的文明建设大会战，交上一份城市文明精彩蝶变的满意答卷。
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市人大常委会副主任陈永光来我区督查文明城市建设工作
高藏寺分屯基地
延庆长公主
何忠友
最新发布
风卷清云尽，
空天万里霜。
本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢？请快和小玻一起走进第330期玻璃周刊吧！
国际动态
1、Furnotherm：为Beta Glass进行的破纪录玻璃熔炉重建工程
弗诺瑟姆（Furnotherm）在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目，即为尼日利亚的贝塔玻璃（Beta Glass）重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司（BDF Industries）负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行，并在极短的时间内完成交付。
2、环球玻璃领航者开启可持续玻璃生产新篇章
荷兰环球玻璃集团（Global Glass Group）与中国香港立道创新（HK Leadus Innovation）合资成立的环球玻璃立道（Global Glass Leadus），将开设全球首家循环真空绝热玻璃（VIG）工厂。
这一全球首创的项目将使荷兰成为西北欧的玻璃创新中心，从而在世界地图上占据一席之地。
这标志着Leadus国际扩张战略中的一个重要里程碑，也是建立在信任与合作基础上的合作伙伴关系的深化。
3、霍恩：为四川天马玻璃公司调试的新型端烧式熔炉已启用
全球顶级技术供应商霍恩玻璃工业公司最近在中国射洪市的新容器玻璃厂为四川天马玻璃有限公司启动了一座日产170吨的端燃式熔炉。
这款新型可持续玻璃熔窑的熔面面积为101平方米，设计有6条生产线，用于生产超级燧石玻璃。
该熔炉配备了最新的低二氧化碳玻璃熔融技术，将实现可靠、节能且高质量的玻璃生产。
4、格伦巴赫收购新哈德逊的资产和知识产权
自9月30日起，位于佐治亚州纽南的格伦泽巴赫公司已收购新哈德森公司的资产和知识产权（IP），后者是退火窑辊设计、制造和维护领域的知名供应商。
60多年来，New Hudson一直是退火窑辊道的领先供应商，在全球250多条浮法玻璃生产线中安装了数千根辊道。该公司在全球玻璃行业中建立了可靠和技术卓越的良好声誉。
国内新闻
（以下排序不分先后）
1、中国加工玻璃骨干企业工作会在安徽蚌埠召开
2025年10月16日，中国建筑玻璃与工业玻璃协会（以下简称“玻璃协会”）在安徽蚌埠组织召开“中国加工玻璃骨干企业工作会议”。出席会议的协会领导有：玻璃协会会长张佰恒，副会长陆铭红、阮洪良、王有强、孙成海、陈全福，加工玻璃G30企业董事长或总经理，中空玻璃、安全玻璃和镀膜玻璃专业委员会常委成员、特邀代表（设备及配套材料企业负责人）共计107人出席了会议。会议同期召开了“加工玻璃行业领军企业家座谈会议”。会议由玻璃协会秘书长李会主持。
2、玻璃企业装光伏怕起火，就选“防起火”光伏组件
不久前，全国重要的玻璃产地——河北沙河某玻璃厂屋顶光伏电站突发火灾，明火与浓烟迅速蔓延，虽经厂区消防力量及时处置，火势被控制在局部范围，但这一事件仍为玻璃行业光伏应用敲响警钟。事实上，光伏电站起火并非个例，据不完全统计，今年以来公开报道的光伏电站起火事件已超百起。通过消防部门通报及媒体深度调查梳理发现，常规组件缺陷、直流拉弧现象、施工操作不当，是引发此类事故的三大核心原因。
3、中力玻璃再次入选“中国加工玻璃30强”称号
近日，中国加工玻璃行业最高规格和最高质量的会议，由中国建筑玻璃与工业玻璃协会举办的“第十三届中国加工玻璃行业领军企业家会议”在安徽蚌埠隆重召开，中力玻璃有限公司总经理王国华参加了此次会议，与全国TOP30加工玻璃企业家汇聚一堂，就行业发展状况和未来发展趋势展开深度讨论。
4、豫科光学年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式圆满举行
10月18日上午，豫科光学迎来发展史上里程碑时刻——年产1000万片防眩光触屏扩产项目启动仪式在公司5号车间隆重举行。公司董事长景志杰携核心管理团队出席，与全体员工共同见证这一重要时刻，现场鞭炮齐鸣、烟花绽放，奏响豫科光学向高端智造领域跨越的新序曲。
5、中玻跨境即将走进土耳其
土耳其玻璃展：连接欧亚的行业超级舞台土耳其玻璃行业的腾飞，离不开高水平的国际展会平台。由TUYAP国际展览公司主办，并通过UFI国际认证的土耳其国际玻璃门窗展，已成功举办14届，今年迎来第15届，再次成为行业焦点。
展会时间：2025年11月15-18日
展会地点：土耳其伊斯坦布尔TUYAP国际会展中心
END
（注：本篇文字部分由记者小玻收集整理，图片来源于网络。如有侵权，请联系我们。）
" alt="330期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事（2025.10.20" class="front-end-item-img hover-scale">330期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事（2025.10.20
赴一场中原古都之约！
登仙境老君山
徒步震撼挂壁公路
探秘龙门石窟千年石刻
赏洛阳牡丹倾城绽放
游少林寺、清明上河园、开封府
沉浸式感受大宋风华
全程双飞出行、四钻住宿、纯玩无购物
一次走遍河南
最经典、最震撼、最值得去的
山水与人文胜景
不负春日好时光
团期：4月14日
读者价：
（60周岁以下）：5580元/人
（60周岁以上）：5080元/人
报名方式：梅州日报社
1、咨询电话：13549160071 13823804287
2、现场报名：梅江区沿江路梅州日报社一楼广告部
参考航班时间
行程特色
★纯玩美景：奇境老君山+挂壁公路+郭亮村+嵩山少林寺+龙门石窟+牡丹花会+丽景门古街+开封府包公祠+清明上河园+万岁山武侠城
★特别安排：夜游《帝都洛阳》亮灯后的城门古意十足，登上城楼可看万家灯火
★舒适睡眠：全程入住网评四钻舒适型酒店
★精心策划：全程纯玩0购物，20人定制精品小包团
★独立成团：满18人派报社工作人员陪同，让您的旅行安心、省心尽情游玩
★特色美食：开封栾川山水豆腐、洛阳水席菜、灌汤小笼包、鲤鱼焙面、炒凉粉等开封小吃菜
行程速览
第一天
交通：梅州→揭阳机场→郑州机场→万岁山•大宋武侠城→入住酒店
住宿：开封网评4钻酒店
梅州指定地点统一集合出发，乘专车前往揭阳潮汕机场，乘飞机南方航空CZ6574（11:20-13:50）航班飞往【河南郑州】。
抵达后赴开封参观【万岁山•大宋武侠城】，这是一座以宋文化、城墙文化和七朝文化为景观核心、以大宋武侠文化为旅游特色、以森林自然为格调、兼具休闲功能的多主题、多景观的大型实景演出。踏入万岁山武侠城，仿佛一脚迈入北宋的繁华盛景。每一处细节都诉说着千年的故事。街边酒旗迎风招展，石板路蜿蜒延伸，仿佛时光在此静止，只留下满目的古风雅韵。
晚餐在景区自由品尝特色小吃，游玩结束后入住酒店休息。
第二天
交通：开封→清明上河园→包公祠
餐饮：酒店早餐︱团队餐︱团队餐
住宿：辉县网评四钻酒店
早餐后游览北宋大型民俗主题公园5A级旅游景区【清明上河园】。根据北宋画家张择端的国宝级北宋民俗画《清明上河图》以1:1的比例建造而成，观包拯迎宾、杨志卖刀、汴河大战、王员外招婿、水傀儡、女子马球、斗鸡、大宋科举、梁山好汉劫囚车、包拯巡河、气功喷火、民间咋杀等一系列北宋民俗表演，体验“一朝步入画卷、一日梦回千年”。
赠送欣赏：《沉浸式大宋奇幻游》，特别安排宋文化特色实景演出：《大宋民俗绝活》《王员外招婿》《岳飞枪挑小梁王》在这幅“百米长卷”上，它已被赋予了生命；白天，城里是徒步行走的人流，骑着骆驼的商队，小桥下潺潺的流水，吆着号子声的水手；夜晚，夜市上是忙碌的小商小贩，屋里准备歇息的夫妻，小酒馆里传出的猜拳声。
午餐品尝开封当地名小吃：灌汤小笼包子等。
参观【包公祠】。这里为纪念铁面无私包大人而修建的，威名驰誉天下，包龙图扶正祛邪、刚直不阿、美名传于古今！品味大宋文化，拜包龙图，领略人间正气！
结束后乘车付辉县（车程2小时）入住酒店休息。
第三天
交通：万仙山景区→绝壁长廊→南坪
餐饮：酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐
住宿：焦作网评四钻酒店
餐后乘车约2个小时到达【万仙山景区】，走进万仙山，住农舍，食农家饭，闻炊烟袅袅，瞧百年老宅，看蓝天白云，听瀑鸟合鸣，走林间小道，吸太行氧吧，归返原始的韵味。
沿途游览【绝壁长廊】（1250米）郭亮洞、红岩绝壁大峡谷，欣赏风景如画的天池、参观奇特的崖上人家红石桥；体会大自然风光。参观【郭亮村】石头世界。
中餐后游览清幽山乡【南坪】观赏奇石日月星石、将军峰、黑龙潭、白龙潭、丹分沟。
结束后车赴焦作，晚餐后入住酒店休息。
特别安排：徒步穿越高悬石崖的绝壁长廊，走进原汁原味的石头村落。
第四天
交通：焦作→老君山→丽景门古街→洛阳
餐饮：酒店早餐 ︱团队餐︱团队餐
住宿：洛阳网评四钻酒店
早餐后乘车前往参观国家5A级旅游景区、世界地质公园【老君山】（参观时间约4-6小时），抵达后乘坐中灵索道开始登山。 抵达中天门之后登518级生财道或自费乘坐峰林索道，之后参观老君庙、南天门、玉皇顶、悬崖 栈道、北国石林、主峰马鬃岭、高空玻璃观景台、舍身崖、十里画屏，老君山金鼎等。观十里画屏之云海奇峰，赏老君金顶之无双圣境。
中餐后乘车赴洛阳，参观【丽景门古街】（游览时间1小时左右）走进明清古街，明媚的阳光洒在绿瓦红墙之间，那突兀横出的飞檐，那高高飘荡的商铺招牌旗号，那川流不息的行人，那一张张淡泊惬意的笑容，无一不反衬出老洛阳人的得意其乐。
特别安排：夜游《帝都洛阳》。夜幕降临，你将漫步在帝都洛阳，观赏盛唐武则天时期的天堂（外观）、明堂（外观），以及灯火璀璨的应天门（外观）夜景。
晚餐特别安排：品尝洛阳特色水席菜。
第五天
交通：洛阳→龙门石窟→洛阳牡丹花会→少林寺
餐饮：酒店早餐︱团餐︱无
住宿：郑州酒店
早餐后，乘车游览世界文化遗产、中国石刻艺术宝库【龙门石窟】（参观约2小时），龙门石窟与“敦煌莫高窟、大同云冈石窟、天水麦积山石窟”共称为中国四大石窟！龙门石窟开凿起于北魏孝文帝年间，连续大规模营造长达400余年，南北长达1公里，今存有窟龛2345个，造像10万余尊，碑刻题记2800余品。其中的卢舍那大佛，高17.14米，堪称龙门石窟造像艺术之典范的——奉先寺。
游览【洛阳牡丹园】（3月室内牡丹、4月室外牡丹为主）在千年古都洛阳，每年春暖花开之际，这座城市的大街小巷都被五彩斑斓的牡丹花所点缀，成为了一幅充满诗意的画卷。
乘车游览“千年古刹”中华武术发源地【少林寺】（游览约120分钟），观赏由少林弟子担纲,专为贵宾量身定做的精彩的【少林武术表演】（约30分钟），参观历经1400多年、现存240余座塔墓的佛教圣地【塔林】（约30分钟）；
期间观赏：名扬中外的《少林小子功夫表演》。
结束后返回郑州，入住酒店休息。
第六天
交通：郑州机场→揭阳机场→梅州→返回温馨的家
餐饮：酒店早餐
住宿：温馨的家
酒店早餐后，乘车前往郑州机场乘飞机南方航空 CZ6573 08:30 时郑州起飞-10:00时抵达揭阳机场，乘专车返回梅州，结束愉快的河南之旅，返回温馨的家！
编辑：邓梓钰（实习） 叶晓洋
校对：张颖
" alt="春赴中原！览太行奇景、赏国色牡丹......读者团河南双飞6日精华之旅等你报名!" class="front-end-item-img hover-scale">春赴中原！览太行奇景、赏国色牡丹......读者团河南双飞6日精华之旅等你报名!本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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